廖敏,男,华山学者特聘教授,博士生导师。
2006年和2009年分别本科和硕士毕业于湘潭大学微电子学专业和微电子学与固体电子学专业。2012年在日本东京工业大学(Tokyo Institute of Technology)获得物理电子系统工程(Electronics and Applied Physics)博士学位,博士期间获得了日本学术振兴会 (JSPS) 博士特别研究员奖励(DC2)。2012年至2015年在日本东京工业大学从事博士后研究工作,后被该校聘为助理教授(Assistant Professor)。
长期从事氧化物功能材料、器件与芯片的教学、科研和人才培养工作。主持国家自然科学基金委青年、面上和优秀青年基金项目及国家其他部门重点项目多项。在材料与微电子领域的权威期刊Adv. Mater.、Adv. Funct. Mater.、IEEE Electron Device Lett.和IEEE Trans. Electron Device等发表论文50余篇;申请国家发明专利30余项,其中已授权12项。
2016年以来,针对人工智能和大数据对高速低功耗大容量新型非易失性存储器芯片的需求,开展氧化铪基铁电薄膜及其存储器芯片的研究,取得了如下研究成果:
1. 提出通过掺杂诱导晶格畸变和热失配应力提升铁电亚稳相稳定性的方法,制备出具有良好铁电性能的氧化铪基薄膜。
2. 构建硅衬底上制备氧化铪基铁电薄膜的多场调控原理和晶态high-k层降低铁电相形成能的策略,实现氧化铪基铁电存储器的后栅极制备工艺,通过标准CMOS工艺线的验证。
3. 建立氧化铪基铁电存储单元的物理模型,实现铁电存储器的电路设计与仿真,研制出64 kbit的高速低功耗氧化铪基铁电存储器芯片。
欢迎学术界和工业界的同行开展合作研究,同时欢迎物理、材料物理、材料学、化学、电子科学与技术等学科,对科研有兴趣、能自主钻研的学生加入团队。
湘潭大学 | 微电子学 | Bachelor's Degree in Science
湘潭大学 | 微电子学与固体电子学 | Master's Degree in Engineering
日本东京工业大学 | 物理电子系统工程 | Doctoral Degree in Engineering
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