功率器件测试系统(power device measurement) 在片功率测试系统(load pull)

晶体管老化系统(transistor aging system ) 台阶仪(profile meter)

原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜（SEM）

红外热像仪（infra scope） 划片机（cutting）

等离子体增强原子层淀积（PEALD） 电子束蒸发台（electron beam evaporation）

探针台和半导体参数分析仪（Probe and semiconductor analyzer ）

微波功率器件研制设备 功率器件测试系统(power device measurement) 在片功率测试系统(load pull) 晶体管老化系统(transistor aging system ) 台阶仪(profile meter) 原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜（SEM） 微波功率器件研制设备 红外热像仪（infra scope） 划片机（cutting） 等离子体增强原子层淀积（PEALD） 电子束蒸发台（electron beam evaporation） 探针台和半导体参数分析仪（Probe and semiconductor analyzer ） 高低温烘胶机

光刻机 接触式紫外光刻机

电子束直写光刻机